半導體實驗室氣路在實驗室中，可以提供熱源的氣體一般是：天然氣、煤氣、液化氣等，使用這種燃氣主要就是用于試樣熔融分解和一些玻璃器皿制造，也能用在煤氣沙浴。它的使用場所一般是在試驗臺或者實驗室通風柜中，但是在試驗臺上使用，要保證臺面耐高溫和設計原子吸收或其他排氣裝置，同樣也具有耐高溫的性能。以上可燃氣體都具有高危險性，進行氣體管路的設計和安裝時要達到國家的要求標準、行業規范，非專業工程師不得隨意改動和安裝，以免氣體泄漏，造成事故的發生。

　　半導體實驗室氣路系統的維護事項：

　　1、對庫存、備用或因任務不足需要封存一段時間的儀器設備要定期清潔、查點、進行防塵、防銹、防潮等方面的維護。

　　2、各實驗室必須建立嚴格的崗位責任制，系統根據所使用儀器設備的特點和要求，制定相應的維護保養措施，并認真落實，使儀器設備的維護保養做到經?；⒅贫然?。

　　3、要加強對實驗技術人員以及學生的基本操作訓練，使他們熟悉儀器設備性能特點，掌握基本操作方法，避免因操作不當或失誤造成損壞事故，特別是大型精密儀器設備使用，要嚴格執行持證上崗的制度，嚴禁未經培訓、考核不合格人員私自操作大型精密儀器。

　　半導體實驗室氣路發生故障的原因：

　　1、外部因素不正常所引起的故障；

　　2、人為的操作使用過程不當引起的故障；

　　3、自身內部某些元件質量缺陷引起的故障。